在我們芯片國(guó)產(chǎn)化的道路上，EUV光刻機(jī)堪稱是最大的“絆腳石”，全球能制造該設(shè)備的只有荷蘭光刻巨頭ASML。但是它的產(chǎn)線上卻含有20%以上的美系技術(shù)零件，受到老美出口管制規(guī)則的約束，而且ASML大多數(shù)研發(fā)中心都在美國(guó)，這意味著ASML很難站在我們這邊。

事實(shí)也的確如此，我國(guó)為了實(shí)現(xiàn)芯片國(guó)產(chǎn)化，在決定自主研發(fā)EUV光刻設(shè)備之時(shí)，ASML首席官Peter就公開(kāi)潑來(lái)冷水，表示：即便給中國(guó)圖紙，他們也無(wú)法造出價(jià)值1.2美元的EUV光刻機(jī)。

ASML這種近乎“嘲諷”的言論，無(wú)非是想澆滅我們自主研發(fā)的動(dòng)力與決心。

造不出EUV光刻機(jī)？

不過(guò)，經(jīng)歷過(guò)“卡脖子”之痛的國(guó)內(nèi)芯片市場(chǎng)，又怎么可能會(huì)因?yàn)橥饨绲牟豢春枚丝s呢？在關(guān)鍵時(shí)刻，中科院、清北等國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)挺身而出，主動(dòng)接下EUV的研發(fā)重任，并成立了專項(xiàng)攻關(guān)技術(shù)小組。

光刻機(jī)的工作原理是利用光源技術(shù)在晶圓上完成相應(yīng)集成電路圖的刻畫(huà)，也就是說(shuō)，光源是最核心、難度最高的技術(shù)。

令人振奮的是，在光源領(lǐng)域，唐傳祥教授帶領(lǐng)的清華科研團(tuán)隊(duì)探索出了一種新型粒子加速器“穩(wěn)態(tài)微聚束”，基于SSMB原理，“穩(wěn)態(tài)微聚束”能產(chǎn)生高功率、高重頻的相干光，波長(zhǎng)可從太赫茲覆蓋到極紫外光波段。

而極紫外光正是EUV最所用到的光源。這意味著，EUV光刻設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，已經(jīng)成功了一半，而且清華科研團(tuán)隊(duì)自主可控的這項(xiàng)光源成果，其應(yīng)用范圍要比EUV極紫外光更加廣泛。

中科院宣布好消息

很顯然，清華大學(xué)在一定程度上已經(jīng)打破了EUV的難產(chǎn)論。而近日，中科院也傳來(lái)了好消息，關(guān)于EUV的研發(fā)，國(guó)內(nèi)又有了新的突破。

據(jù)公開(kāi)資料顯示，中科院旗下的上海“光交所”，提出了光源臨近修復(fù)技術(shù)的解決方案，簡(jiǎn)稱OPC。實(shí)驗(yàn)證明，該技術(shù)可以在光刻設(shè)備硬件不變的情況下，優(yōu)化光源系統(tǒng)與晶圓良品率，從而提升光刻分辨率，制造出精度更高、性能更好的晶圓。

在傳統(tǒng)硅基芯片工藝即將觸及物理極限之時(shí)，國(guó)內(nèi)OPC技術(shù)的誕生，或?qū)?shí)現(xiàn)摩爾定律的延續(xù)。

對(duì)正在破冰EUV設(shè)備的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)來(lái)說(shuō)，OPC技術(shù)將為后續(xù)的研發(fā)提供有力的技術(shù)支持，更能提升我們一鼓作氣翻過(guò)EUV這座大山的信心。

ASML的舉動(dòng)毫無(wú)意義

關(guān)于我國(guó)光刻研發(fā)的進(jìn)展，ASML態(tài)度的轉(zhuǎn)變或許是最有說(shuō)服力的。

最初認(rèn)為我們難以造出EUV光刻機(jī)的ASML高管，在一次線上活動(dòng)中明確表態(tài)：芯片斷供只會(huì)適得其反，五年時(shí)間，中國(guó)將打破半導(dǎo)體領(lǐng)域的所有壟斷，包括EUV光刻機(jī)。

另外，ASML從去年末至今，在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的布局更說(shuō)明問(wèn)題。

先是與中芯國(guó)際達(dá)成了一份價(jià)值12億美元的光刻出口協(xié)議，在第一季度又接連出口給我國(guó)市場(chǎng)11臺(tái)多種類型的光刻機(jī)。

很顯然，我們?cè)诠饪填I(lǐng)域的崛起，讓ASML感受到了危機(jī)。

一方面是因?yàn)樗幌氡慌懦谥袊?guó)市場(chǎng)之外；另一方面是，我國(guó)一旦在光刻領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化，那么必然會(huì)拉低光刻機(jī)高昂的價(jià)格，甚至?xí)_擊到ASML在該領(lǐng)域的地位。

不過(guò)，ASML示好出口的這些舉動(dòng)將毫無(wú)意義。因?yàn)榻?jīng)歷過(guò)“卡脖子”的慘痛教訓(xùn)，我們不會(huì)再因?yàn)橥饨鐟B(tài)度的轉(zhuǎn)變而放慢自研的腳步，EUV的國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行。何況ASML說(shuō)得好聽(tīng)，可迄今而至，連一臺(tái)EUV都沒(méi)有賣給我們。

總結(jié)

我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速崛起來(lái)之不易，是華為等中企用“卡脖子”之痛喚醒了我們自主研發(fā)的決心，讓我們徹底放棄對(duì)海外的幻想。不管是ASML也好、臺(tái)積電也罷，根本指望不上他們能雪中送炭。

老美三年四次制裁更讓我們看清了一個(gè)事實(shí)，所謂的貿(mào)易公平是建立在自身強(qiáng)大的基礎(chǔ)之上。只有做到手中有糧，才能遇事不慌。

慶幸的是，國(guó)內(nèi)科學(xué)家們沒(méi)有讓國(guó)人失望，隨著EUV的進(jìn)一步推進(jìn)，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體的護(hù)城河就將搭建完畢，屆時(shí)，我們將完全洗刷近幾年被技術(shù)封鎖的恥辱！