作為全球第一光刻機供應(yīng)商，荷蘭 ASML ( 阿斯麥 ) 今天公布了 2021 年第二季度財報。

當季，ASML 凈銷售額 40 億歐元，毛利率 50.9％，凈收入 10 億歐元，凈預(yù)訂額 83 億歐元，其中EUV 極紫外光刻機就有 49 億歐元，而總的積壓訂單金額已達 175 億歐元。

ASML 在財報中還披露，第一臺全新 TWINSCAN NXE:3600D EUV 光刻機系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶，相比之前的 NXE:3400C 生產(chǎn)力提高了 15-20％，覆蓋率（套刻精度）提高了約 30％。

不過，ASML 未透露接收客戶是哪一家。

ASML 還表示，正努力增加 EUV 光刻機在存儲行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，計劃協(xié)助三個 DRAM 內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點中導(dǎo)入 EUV。

ASML EUV 光刻機目前還是第一代產(chǎn)品，EUV 光源波長 13.5nm 左右，物鏡 NA 數(shù)值孔徑 0.33，并發(fā)展了一系列型號。

最早量產(chǎn)出廠的是 NXE:3400B，產(chǎn)能有限，晶圓產(chǎn)能只有 125PWH，目前的出貨主力是 NXE:3400C，產(chǎn)能提升到 135WPH，而最新的 NXE:3600D 產(chǎn)能進一步提升到 160WPH，價格據(jù)說也達到了 1.45 億美元 ( 約合人民幣 9.38 億元 ) 。

第二代 EUV 光刻機將會是 NXE:5000 系列，物鏡 NA 提升到 0.55，進一步提高光刻精度，但原計劃 2023 年問世，現(xiàn)在推遲到 2025-2026 年，而價格預(yù)計將突破 3 億美元。

第三季度，ASML 預(yù)計凈銷售額 52-54 億歐元，毛利率 51-53％。