作為全球第一光刻機供應商，荷蘭 ASML ( 阿斯麥 ) 今天公布了 2021 年第二季度財報。

當季，ASML 凈銷售額 40 億歐元，毛利率 50.9％，凈收入 10 億歐元，凈預訂額 83 億歐元，其中EUV 極紫外光刻機就有 49 億歐元，而總的積壓訂單金額已達 175 億歐元。

ASML 在財報中還披露，第一臺全新 TWINSCAN NXE:3600D EUV 光刻機系統已經交付給客戶，相比之前的 NXE:3400C 生產力提高了 15-20％，覆蓋率（套刻精度）提高了約 30％。

不過，ASML 未透露接收客戶是哪一家。

ASML 還表示，正努力增加 EUV 光刻機在存儲行業的量產應用，計劃協助三個 DRAM 內存芯片客戶在未來的工藝節點中導入 EUV。

ASML EUV 光刻機目前還是第一代產品，EUV 光源波長 13.5nm 左右，物鏡 NA 數值孔徑 0.33，并發展了一系列型號。

最早量產出廠的是 NXE:3400B，產能有限，晶圓產能只有 125PWH，目前的出貨主力是 NXE:3400C，產能提升到 135WPH，而最新的 NXE:3600D 產能進一步提升到 160WPH，價格據說也達到了 1.45 億美元 ( 約合人民幣 9.38 億元 ) 。

第二代 EUV 光刻機將會是 NXE:5000 系列，物鏡 NA 提升到 0.55，進一步提高光刻精度，但原計劃 2023 年問世，現在推遲到 2025-2026 年，而價格預計將突破 3 億美元。

第三季度，ASML 預計凈銷售額 52-54 億歐元，毛利率 51-53％。